科技成果转化公示 ?〔2020〕5号——一种集成式阻抗负载声表面波气体传感器

编辑:美高梅游戏官网 时间:2020-03-03

根据《美高梅游戏官网娱乐科技成果转化管理办法》规定,对“一种集成式阻抗负载声表面波气体传感器”成果转化相关事项公示如下:

一、成果名称及概况:

该成果包含如下1项常识产权:

(1)发明专利:一种集成式阻抗负载声表面波气体传感器

发明人:罗为,傅邱云,王晓碧,郑志平,胡云香

专利号:ZL201611225354.1

专利权人:美高梅游戏官网娱乐

概况:本发明公开了一种基于Si衬底的集成式阻抗负载声表面波气体传感器,包括衬底、压电层、输入/输出叉指换能器、反射叉指换能器、敏感叉指电极和气敏薄膜。通过在Si衬底上生长一层薄的SiO2绝缘层和压电层,具有良好的温度特性;Si衬底材料具有低成本、大尺寸、可导电的特点,能与集成电路产业兼容;对叉指电极的排列结构进行了优化,能减少外接传感器造成的声波反射,同时可以减少连接线导致的寄生效应,叉指换能器和敏感叉指电极一次制成,确保了制造过程的简易性,易于大规模生产。本发明实现了传感器的无线无源测量,可以将易受外界影响的传感部分与信号传送部分分开,扩展了传感器的适用范围。

二、拟交易价格

普通许可:60万元

三、价格形成过程

经全体发明人同意,并与武汉华星光电技术有限企业协商,双方同意该成果以协议定价60万元实施普通许可,许可期限为自合同签订之日起一年。

特此公示,公示期15日,自2020年3月4日起至2020年3月18日。如有异议,请于公示期内以书面形式实名向我办反映。

联系人:臧老师

联系电话:027-87540925,15846590898

科技成果转化办公室

2020年3月3日


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