电阻式蒸发镀膜机概况

编辑:美高梅游戏官网 时间:2018-02-26

电阻式蒸发镀膜机照片

设备名称

电阻式蒸发镀膜机

设备概况

该设备用于真空蒸发镀光学薄膜、有机物薄膜和金属薄膜。

技术参数

1.真空室:400*400*450mm方箱形;

2.最大可镀工件直径:φ120mm,;

3.样品台可旋转0-60转/分可调,蒸发距离250~350mm连续可调,样品台配独立挡板;

4.样品加热系统,温度最高可达600℃,外加一套水冷样品台;

5.极限真空度:优于6.67*10-5Pa;

6.抽气时间:大气压~8*10-4Pa小于30min;

7.蒸发:4套蒸发源配3套2KW电源(其中一套可切换),

8.开启方式:前面开启门设计,便于换丝及装料;

9.真空系统:机械泵+分子泵;

    10.膜厚测量仪

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